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打造屬于自己的光刻產(chǎn)品

2021年10月15日 06:54   來源:經(jīng)濟(jì)日?qǐng)?bào)   

  江蘇邳州經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)泰山路西側(cè)坐落著一家并不起眼的企業(yè)——徐州博康信息化學(xué)品有限公司,近段時(shí)間以來,這個(gè)占地近200畝的小工廠卻成為資本市場(chǎng)追逐的目標(biāo)之一。

  從8月11日到9月11日,短短一個(gè)月時(shí)間內(nèi),華為旗下深圳哈勃科技投資合伙企業(yè)向徐州博康新增投資3億元,成為華為哈勃最大單筆半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈投資;上市公司華懋科技發(fā)布公告,通過參與設(shè)立的產(chǎn)業(yè)基金東陽凱陽科技創(chuàng)新發(fā)展合伙企業(yè)(有限合伙)對(duì)徐州博康進(jìn)行投資。

  科技巨頭和上市公司為何把目光投向江蘇邳州這家企業(yè)?

  “我們自成立至今,一直專注于光刻膠原材料到成品的自主研發(fā)及生產(chǎn)。先后攻克了有效去除光刻膠單體金屬離子和產(chǎn)品純化工藝等多項(xiàng)難題,填補(bǔ)了國內(nèi)在該項(xiàng)技術(shù)上的空白!毙熘莶┛刀麻L傅志偉說,資本市場(chǎng)看好徐州博康,既是上市公司對(duì)發(fā)展光刻膠產(chǎn)業(yè)的一種戰(zhàn)略布局,更是對(duì)徐州博康光刻膠領(lǐng)域自主研發(fā)成果的認(rèn)可。

  找準(zhǔn)技術(shù)突破口

  走進(jìn)徐州博康產(chǎn)品展廳,一排排裝滿液體的褐色玻璃瓶罐擺放在展臺(tái)上,標(biāo)注著光刻膠單體、樹脂、光引發(fā)劑等光刻膠組成材料名稱,引人注目。

  “過去這些光刻膠材料我們高價(jià)買不來,F(xiàn)在我們?cè)诠饪棠z材料研發(fā)領(lǐng)域取得突破,很多國外廠商反過來向我們訂購產(chǎn)品!备抵緜ザ似鹨黄繂误w試劑告訴記者,如果把芯片比作電子信息產(chǎn)業(yè)的皇冠,那光刻技術(shù)就是皇冠上的明珠,而作為芯片研發(fā)的重要材料——光刻膠,一直被發(fā)達(dá)國家攥在手里,成為制約我國芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展的“卡脖子”環(huán)節(jié)之一。

  “我們把光刻膠單體作為突破口,心無旁騖專注研發(fā),腳踏實(shí)地做產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化,成功實(shí)現(xiàn)了光刻膠單體的自主研發(fā)及生產(chǎn)!备抵緜フf,企業(yè)當(dāng)時(shí)在沒有經(jīng)驗(yàn)、缺少專業(yè)技術(shù)人才、缺失關(guān)鍵上游原材料的條件下啟動(dòng)研發(fā)及生產(chǎn),雖然經(jīng)歷曲折坎坷,但橫下一條心就一定能做成。

  “光刻膠的研發(fā),關(guān)鍵在于其成分復(fù)雜、工藝技術(shù)難以掌握!毙熘莶┛敌畔⒒瘜W(xué)品有限公司生產(chǎn)總監(jiān)劉司飛參與了公司光刻膠單體量產(chǎn)、樹脂研發(fā)以及配膠的全鏈條工作,他感慨地說,能夠參與其中感覺很驕傲、很自豪,累并快樂著。

  為了讓光刻膠單體材料實(shí)現(xiàn)從實(shí)驗(yàn)室小批量到生產(chǎn)線噸位級(jí)生產(chǎn)并品質(zhì)穩(wěn)定,劉司飛曾和研發(fā)團(tuán)隊(duì)一起立下技術(shù)攻關(guān)軍令狀,半年時(shí)間吃住在公司,沒日沒夜地試驗(yàn),最終實(shí)現(xiàn)了193納米單體產(chǎn)品金屬離子含量由100ppb降到了10ppb,純化提高了10倍,滿足智能手機(jī)芯片等集成電路對(duì)于光刻膠的需求。

  目前,徐州博康自主研發(fā)了光刻膠重要材料——光刻膠單體,同時(shí)還將國內(nèi)光刻膠單體由248納米的研發(fā)生產(chǎn)提升到193納米研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化階段;成功研發(fā)G線/I線光刻膠、電子束光刻膠等產(chǎn)品并形成量產(chǎn),為國內(nèi)主流廠商批量供貨。

  走自主研發(fā)之路

  “光刻膠在玻璃釜里制造和在流水線上生產(chǎn)有很大區(qū)別,試生產(chǎn)階段要時(shí)刻關(guān)注數(shù)據(jù)變化,確保產(chǎn)品穩(wěn)定性!痹谛熘莶┛敌聫S大數(shù)據(jù)控制中心,公司產(chǎn)品總監(jiān)邵嚴(yán)亮正帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)針對(duì)一款即將量產(chǎn)的光刻膠進(jìn)行穩(wěn)定性評(píng)估。

  工欲善其事,必先利其器。今年6月份,徐州博康建成并投產(chǎn)國內(nèi)最完備的高水平光刻膠研制基地,每年可生產(chǎn)1100噸光刻材料、10000噸電子級(jí)溶劑,產(chǎn)值達(dá)20億元!靶熘莶┛挡粌H在光刻膠單體生產(chǎn)上實(shí)現(xiàn)了突圍,也在光刻膠產(chǎn)業(yè)鏈研發(fā)制造及光刻機(jī)的研發(fā)上全面發(fā)力!鄙蹏(yán)亮介紹說,目前徐州博康光刻膠單體占全球市場(chǎng)份額5%,儲(chǔ)備了全球80%的技術(shù),開發(fā)出10多個(gè)高端光刻膠系列產(chǎn)品。

  打破國外壟斷、實(shí)現(xiàn)自主研發(fā)離不開科技創(chuàng)新的支撐,而提高科技創(chuàng)新支撐能力,人才是關(guān)鍵。

  “為了給企業(yè)自主研發(fā)提供源源不斷的技術(shù)力量,我們?cè)趪鴥?nèi)光刻膠領(lǐng)域廣發(fā)英雄帖,組建了120余人的研發(fā)團(tuán)隊(duì),占公司員工超40%,同時(shí)搭建了3000平方米國際標(biāo)準(zhǔn)研發(fā)中心作為技術(shù)創(chuàng)新平臺(tái)!备抵緜フf,通過不計(jì)其數(shù)的試驗(yàn),忍耐了無數(shù)次的失敗、重來,再失敗、再重來,公司自主研發(fā)收獲頗豐,已獲批27項(xiàng)發(fā)明專利,正在申請(qǐng)的專利達(dá)41項(xiàng),并具有完全的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。

  布局中高端市場(chǎng)

  傅志偉說,早在2013年,中科院微電子所就與徐州博康展開了密切合作,在光刻研發(fā)方面突飛猛進(jìn),并不斷挑戰(zhàn)一個(gè)又一個(gè)技術(shù)封鎖,最終使得光刻技術(shù)的研發(fā)達(dá)到國際先進(jìn)技術(shù)水平。

  在光刻材料取得重大進(jìn)展的同時(shí),徐州博康還與中科院微電子所聯(lián)合組建了一支新團(tuán)隊(duì)——江蘇影速,開始進(jìn)軍先進(jìn)光刻設(shè)備領(lǐng)域。

  短短3年時(shí)間,江蘇影速就完成了半導(dǎo)體納米級(jí)制板光刻設(shè)備研發(fā)及PCB激光直接成像設(shè)備研發(fā)兩個(gè)國家科技重大專項(xiàng),成為我國唯一能夠制造“半導(dǎo)體納米級(jí)制板光刻設(shè)備”的企業(yè),產(chǎn)品交付國內(nèi)研究所、軍工企業(yè)及一線廠商,逐步擠壓進(jìn)口設(shè)備的市場(chǎng)空間,并結(jié)束了我國半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域“零出口”的歷史。

  與此同時(shí),徐州博康收購了英國的光刻機(jī)制造企業(yè)NBL電子束光刻機(jī)公司并落戶徐州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū),未來將在園區(qū)內(nèi)主要生產(chǎn)電子束光刻機(jī)、掃描電鏡、高壓電源以及電子束槍、無磁電機(jī)等高科技產(chǎn)品。

  目前,徐州博康已經(jīng)發(fā)展為全國為數(shù)不多的中高端光刻膠材料研發(fā)和規(guī);a(chǎn)企業(yè),成為全球最快激光直寫光刻機(jī)的發(fā)明者和制造商。談到企業(yè)未來的發(fā)展,傅志偉說:“我們要努力掌握和創(chuàng)造屬于我們自己的光刻技術(shù)及產(chǎn)品,改變?nèi)蚬饪坍a(chǎn)業(yè)格局。”(經(jīng)濟(jì)日?qǐng)?bào)記者 蔣 波)

(責(zé)任編輯:王炬鵬)

打造屬于自己的光刻產(chǎn)品

2021-10-15 06:54 來源:經(jīng)濟(jì)日?qǐng)?bào)
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